Atomschichtabscheidungsvorrichtung und Atomschichtabscheidungsverfahren

EP2251898 Art A1 17. November 2010

Anmelder: Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2251898
Aktenzeichen
EP09712050
Anmeldetag
17. Februar 2009
Veröffentlichung
17. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/31C23C16/452H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsui Engineering & Shipbuilding

Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.

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