Ionisierungsmessgerät mit für Hochdruckbetrieb Ausgelegten Betriebsparametern und Geometrie
EP2252869
Art B1
12. Dezember 2018
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Brooks Automation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2252869
- Aktenzeichen
- EP09713559
- Anmeldetag
- 19. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 12. Dezember 2018
- Erteilung
- 12. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L21/32G01L21/34G01N27/62H01J37/05H01J41/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Brooks Automation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jenkins, Peter David
London, Großbritannien
2.940
Patente gesamt
34
Fachgebiete
28
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Schwerpunkte