Verfahren zur Herstellung von Nanostrukturen auf Metalloxidsubstrat und Dünnfilmvorrichtung
Anmelder: École Polytechnique, Centre National de la Recherche Scientifique, Commissariat A L'Energie Atomique, Ecole Polytechnique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2255029
- Aktenzeichen
- EP09728134
- Anmeldetag
- 19. März 2009
- Veröffentlichung
- 2. April 2014
- Erteilung
- 2. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B82Y10/00B82Y30/00C30B25/18C30B29/04C30B29/06C30B29/08C30B29/36C30B29/38C30B29/52C30B29/60H01L31/0352
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- École Polytechnique
Centre National de la Recherche Scientifique
Commissariat A L'Energie Atomique
Ecole Polytechnique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
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Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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