Abstandssteuerung für Chip- oder Schichtverbindung mittels Zwischenschichten für ein mikroelektromechanisches System

EP2259018 Art B1 28. Juni 2017

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2259018
Aktenzeichen
EP09161583
Anmeldetag
29. Mai 2009
Veröffentlichung
28. Juni 2017
Erteilung
28. Juni 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G01C19/56G01P15/125G01P15/08B81B7/00B81C1/00H01L23/10H01L23/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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