Verfahren zur Herstellung von einer Oxydschicht auf einem Siliziumkarbidschicht mittels Temperung in einer Wasserstoffumgebung
EP2259288
Art B1
5. Dezember 2012
Anmelder: Cree, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2259288
- Aktenzeichen
- EP10179447
- Anmeldetag
- 12. April 2002
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2012
- Erteilung
- 5. Dezember 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cree, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cree
US-amerikanischer Halbleiterhersteller, bekannt für LED- und Leistungshalbleitertechnik auf Siliziumkarbid-Basis. Das Unternehmen benannte sich 2021 in Wolfspeed um.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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