Plasmaerzeugungsvorrichtung, Plasmasteuerungsverfahren und Verfahren zur Substratherstellung
EP2259663
Art B1
1. Oktober 2014
Anmelder: Japan Science and Technology Agency, Miyake, Shoji, Ebe, Akinori 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2259663
- Aktenzeichen
- EP10180427
- Anmeldetag
- 12. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2014
- Erteilung
- 1. Oktober 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46H01L21/3065H01L21/205C23C14/54H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Japan Science and Technology Agency
Miyake, Shoji
Ebe, Akinori - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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