Prozesssteuerung mit Prozessdaten und Ertragsdaten
EP2260358
Art A1
15. Dezember 2010
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2260358
- Aktenzeichen
- EP09718781
- Anmeldetag
- 20. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B23/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lau, Sarah Jane
London, Großbritannien
601
Patente gesamt
26
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Maggs, Michael Norman
NoneLondon