Abscheidungsratenüberwachungsvorrichtung, Verdampfer, Beschichtungsinstallation, Verfahren zum Aufbringen von Dampf auf ein Substrat und Verfahren zum Betrieb einer Abscheidungsratenüberwachungsvorrichtung
EP2261388
Art A1
15. Dezember 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials Inc. a Corporation of the State of Delaware 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2261388
- Aktenzeichen
- EP09162626
- Anmeldetag
- 12. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/54C23C14/12G01B7/06
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
Applied Materials Inc. a Corporation of the State of Delaware - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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