Verfahren zum Herstellen von Dielektrischen Filmen mit Hohem K-Wert auf Basis Neuer Zirkon und Hafnium Vorläufer und Ihre Verwendung zur Halbleiterherstellung
EP2261389
Art B1
18. Januar 2012
Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2261389
- Aktenzeichen
- EP10177976
- Anmeldetag
- 16. März 2007
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2012
- Erteilung
- 18. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/18C23C16/40C23C16/30C23C16/34C07F17/00C07F7/00H01L21/314H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte