Additiv zur mechanischen Verstärkung von Niedrig-Dielektrikum-Filmen

EP2261390 Art A3 13. Juni 2012

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2261390
Aktenzeichen: EP10183364
Anmeldetag: 25. Mai 2004
Veröffentlichung: 13. Juni 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40H01L21/316C03C3/04C03C11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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