Gasfeldionenquelle mit Beschichteter Spitze
EP2263248
Art B1
4. Mai 2016
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy, LLC, Carl Zeiss SMT, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2263248
- Aktenzeichen
- EP09716494
- Anmeldetag
- 13. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2016
- Erteilung
- 4. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J49/16H01J37/08H01J27/26H01J37/065H01J37/26H01J37/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy, LLC
Carl Zeiss SMT, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
564 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank