Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2264409
Art B1
7. Oktober 2015
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2264409
- Aktenzeichen
- EP10163160
- Anmeldetag
- 18. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2015
- Erteilung
- 7. Oktober 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01D5/347G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte