Hoch auflösende Ausrichtungsverfahren und entsprechende Systeme für die Präge-Lithographie

EP2264524 Art A3 30. November 2011

Anmelder: The Board of Regents of The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2264524
Aktenzeichen
EP10183242
Anmeldetag
16. Juli 2001
Veröffentlichung
30. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Board of Regents of The University of Texas System
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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