Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2264532 Art B1 31. Oktober 2012

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2264532
Aktenzeichen: EP10183482
Anmeldetag: 8. Juli 2004
Veröffentlichung: 31. Oktober 2012
Erteilung: 31. Oktober 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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