Belichtungsapparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und Verfahren zur Steuerung des Apparats

EP2264535 Art B1 13. Februar 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2264535
Aktenzeichen: EP10184336
Anmeldetag: 26. Juli 2004
Veröffentlichung: 13. Februar 2013
Erteilung: 13. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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