Verfahren zur Regelung des Betriebes eines Verarbeitungssystems
EP2264558
Art A3
21. März 2012
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2264558
- Aktenzeichen
- EP10184308
- Anmeldetag
- 3. Juni 2005
- Veröffentlichung
- 21. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/418H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Clark, Charles Robert
West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte