Elektronenkanone, die in einer Teilchenstrahlvorrichtung verwendet wird

EP2264738 Art B1 6. Dezember 2017

Anmelder: Carl Zeiss NTS Ltd., York Probe Sources Limited, Carl Zeiss SMT Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2264738
Aktenzeichen: EP09163176
Anmeldetag: 18. Juni 2009
Veröffentlichung: 6. Dezember 2017
Erteilung: 6. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss NTS Ltd.
York Probe Sources Limited
Carl Zeiss SMT Limited
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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