Ausfallschutz für elektrostatisch betätigte MEMS-Vorrichtungen
EP2264763
Art A1
22. Dezember 2010
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2264763
- Aktenzeichen
- EP09162725
- Anmeldetag
- 15. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 22. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Hertoghe, Kris Angèle Louisa
Winksele, Belgien
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