Systeme und Verfahren zum Filtern von Out-Of-Band-Strahlung in Euv-Expositionswerkzeugen

EP2265333 Art A1 29. Dezember 2010

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2265333
Aktenzeichen: EP09727332
Anmeldetag: 1. April 2009
Veröffentlichung: 29. Dezember 2010
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit

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