Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren einer Ungleichförmigen Frakturierung einer Fotomaskenform

EP2265994 Art B1 30. September 2015

Anmelder: Synopsys, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2265994
Aktenzeichen
EP09721346
Anmeldetag
4. März 2009
Veröffentlichung
30. September 2015
Erteilung
30. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F1/78H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Synopsys, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

483 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Davies, Simon Robert London, Großbritannien
1.092
Patente gesamt
27
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Optik & Fototechnik
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