Mehrachsiges Mikrospiegel-Array auf Wafer-Ebene mit Grossem Kippwinkel für Grossmassstäbliche Strahllenkungsanwendungen

EP2266199 Art A1 29. Dezember 2010

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2266199
Aktenzeichen
EP09731448
Anmeldetag
8. April 2009
Veröffentlichung
29. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00G02B7/182G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cornell University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cornell University

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