Verfahren zur Inspektion geladener Teilchen und geladenes Teilchensystem

EP2267752 Art A3 4. April 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel, Ltd., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2267752
Aktenzeichen: EP10012462
Anmeldetag: 6. September 2006
Veröffentlichung: 4. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/09H01J37/04H01J37/317H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel, Ltd.
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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