Teilchenoptisches Inspektionssystem

EP2267754 Art B1 21. November 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel, Ltd., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2267754
Aktenzeichen: EP10012424
Anmeldetag: 28. November 2006
Veröffentlichung: 21. November 2012
Erteilung: 21. November 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/141H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel, Ltd.
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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