Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Bauelementsherstellungsverfahren

EP2267759 Art B1 26. November 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2267759
Aktenzeichen: EP10186134
Anmeldetag: 27. Januar 2005
Veröffentlichung: 26. November 2014
Erteilung: 26. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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