Verfahren zur Entwicklung einer Dünnschicht aus Oxid oder Silikat aus Hafniumnitrid, in Diesem Verfahren Verwendete Koordinationsverbindung und Verfahren zur Herstellung der Integrierten Elektronischen Schaltung
EP2268848
Art A1
5. Januar 2011
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Université Claude Bernard Lyon I, Institut Polytechnique de Grenoble, Université Claude Bernard Lyon, University Claude Bernard Lyon I 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2268848
- Aktenzeichen
- EP09727119
- Anmeldetag
- 16. März 2009
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/30C23C16/40
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique
Université Claude Bernard Lyon I
Institut Polytechnique de Grenoble
Université Claude Bernard Lyon
University Claude Bernard Lyon I - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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🇫🇷
Institut Polytechnique de Grenoble
Französische Ingenieurhochschule (Grenoble INP) mit Forschungsschwerpunkten in Informatik, Elektrotechnik, Materialwissenschaften und Energietechnik.
309 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Noel, Chantal Odile
Paris, Frankreich
244
Patente gesamt
28
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte