Detektion Gasförmiger Halogene

EP2269057 Art B1 14. März 2018

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2269057
Aktenzeichen
EP09732319
Anmeldetag
24. März 2009
Veröffentlichung
14. März 2018
Erteilung
14. März 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G01N33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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