Biegevorrichtung für homogenen und reibungslosen Betrieb einer Verdampfungsquelle

EP2270253 Art B1 12. September 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2270253
Aktenzeichen: EP09164593
Anmeldetag: 3. Juli 2009
Veröffentlichung: 12. September 2012
Erteilung: 12. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54C23C14/22B21F1/00B21F99/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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