Belichtungsmethode und -apparat sowie Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2270597
Art B1
1. November 2017
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2270597
- Aktenzeichen
- EP10012876
- Anmeldetag
- 30. März 2004
- Veröffentlichung
- 1. November 2017
- Erteilung
- 1. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Furlong, Christopher Heinrich
München, Deutschland
19
Patente gesamt
12
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München
- (deleted)
-
Gray, Helen Mary
NoneMünchen