Laserbelichtungsverfahren, Fotolackschichtbearbeitungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Strukturform

EP2270598 Art A1 5. Januar 2011

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2270598
Aktenzeichen: EP09734419
Anmeldetag: 23. März 2009
Veröffentlichung: 5. Januar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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