Verfahren und Vorrichtung zum Steuern des optimalen Betriebs einer akustischen Reinigung

EP2270838 Art B1 12. Juni 2019

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2270838
Aktenzeichen: EP10167177
Anmeldetag: 24. Juni 2010
Veröffentlichung: 12. Juni 2019
Erteilung: 12. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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