Verfahren zur Herstellung eines Substrats aus III-V Material und zugehöriges Substrat

EP2270840 Art B1 3. Juni 2020

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2270840
Aktenzeichen
EP10166730
Anmeldetag
21. Juni 2010
Veröffentlichung
3. Juni 2020
Erteilung
3. Juni 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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