Belichtungsgerät, Reinigungsverahren und Herstellungsverfahren für das Gerät

EP2271966 Art A1 12. Januar 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2271966
Aktenzeichen: EP09732306
Anmeldetag: 14. April 2009
Veröffentlichung: 12. Januar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03B27/42G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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