Verfahren zur Bearbeitung eines Dielektrischen Films
EP2272086
Art A2
12. Januar 2011
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2272086
- Aktenzeichen
- EP09762952
- Anmeldetag
- 24. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31H01L21/306H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Derry, Paul Stefan
Venner Shipley LLP · London