Verfahren zur Bereitstellung von Oxidschichten

EP2272087 Art B1 4. April 2018

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2272087
Aktenzeichen
EP09738240
Anmeldetag
30. April 2009
Veröffentlichung
4. April 2018
Erteilung
4. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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