Laserabtast-Mikroskop

EP2273301 Art A1 12. Januar 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2273301
Aktenzeichen
EP09711903
Anmeldetag
20. Februar 2009
Veröffentlichung
12. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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