Verfahren zur Herstellung von Arbeitsstücken mit Ionengeätzter Oberfläche

EP2274763 Art B1 3. Oktober 2018

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Trading AG, Trübbach 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2274763
Aktenzeichen
EP09734820
Anmeldetag
15. April 2009
Veröffentlichung
3. Oktober 2018
Erteilung
3. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Trading AG, Trübbach
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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