Verfahren zur Herstellung einer monokristallinen Schicht aus Germanium oder Aluminium auf einem Substrat

EP2275591 Art B1 19. März 2014

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2275591
Aktenzeichen
EP09165215
Anmeldetag
10. Juli 2009
Veröffentlichung
19. März 2014
Erteilung
19. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C30B23/02C30B29/08C30B29/02H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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