Rohrförmiger Wärme- oder Staoffaustauschapparat
EP2275766
Art A1
19. Januar 2011
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2275766
- Aktenzeichen
- EP10183708
- Anmeldetag
- 26. September 2002
- Veröffentlichung
- 19. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F28D7/02F28D9/02B01D69/08B01D63/02H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte