Verfahren zur Herstellung von Schichtstrukturen mit Siliciumcarbidschichten
EP2277194
Art A1
26. Januar 2011
Anmelder: BASF SE 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2277194
- Aktenzeichen
- EP09741998
- Anmeldetag
- 27. April 2009
- Veröffentlichung
- 26. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/00H01L21/312H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- BASF SE
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
BASF
Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.
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Meissner Bolte Patentanwälte
Bremen, Deutschland
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