Verfahren zur Bildung von MEMS-Vorrichtungen mit geringem Kontaktwiderstand und damit erhaltene Vorrichtungen
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D, Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2277823
- Aktenzeichen
- EP10075263
- Anmeldetag
- 18. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 11. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D
Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D - Land
- 🇧🇪 Belgien
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.
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