Wafer-Prozessstrom für einen MEMS-Hochleistungs-Beschleunigungsmesser

EP2278340 Art A1 26. Januar 2011

Anmelder: ROSEMOUNT AEROSPACE INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2278340
Aktenzeichen
EP10251293
Anmeldetag
20. Juli 2010
Veröffentlichung
26. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G01P15/02G01P15/08B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ROSEMOUNT AEROSPACE INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rosemount Aerospace

US-amerikanisches Unternehmen, Teil von Collins Aerospace. Rosemount Aerospace entwickelt Sensoren und Messsysteme für Luftfahrzeuge, unter anderem für Luftdaten und Vereisungserkennung.

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