Reflektionsmaskenrohling für EUV Lithographie

EP2278395 Art A1 26. Januar 2011

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited, ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2278395
Aktenzeichen: EP10014669
Anmeldetag: 12. Januar 2007
Veröffentlichung: 26. Januar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Asahi Glass Company, Limited
ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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