Teilchenstrahlgerät mit einer Blendeneinheit und Verfahren zur Einstellung eines Strahlstroms in einem Teilchenstrahlgerät
EP2278607
Art B9
17. Dezember 2014
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2278607
- Aktenzeichen
- EP10170421
- Anmeldetag
- 22. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2014
- Erteilung
- 17. Dezember 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/09H01J37/28H01J37/15
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Vertreten von
Tongbhoyai, Martin
Köln, Deutschland
91
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