Isolationsfilmmmaterial mit organischer Silan oder organischer Siloxanverbindung, Verfahren zur Herstellung und Halbleiteranordnung

EP2278612 Art B1 10. Dezember 2014

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2278612
Aktenzeichen
EP10191051
Anmeldetag
28. November 2003
Veröffentlichung
10. Dezember 2014
Erteilung
10. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312C07F7/18C07F7/21
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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