Montageverfahren einer Übergabevorrichtung und Übergabekammer

EP2280410 Art A3 11. Dezember 2013

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2280410
Aktenzeichen: EP10171215
Anmeldetag: 29. Juli 2010
Veröffentlichung: 11. Dezember 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/67B65G49/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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