Mems-Bauelement mit Unabhängiger Drehung in Zwei Drehachsen

EP2280906 Art A1 9. Februar 2011

Anmelder: Micralyne Inc. 🇨🇦

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2280906
Aktenzeichen
EP09737582
Anmeldetag
29. April 2009
Veröffentlichung
9. Februar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B81B7/02B81B3/00B81B5/00G02B26/08H01L23/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micralyne Inc.
Land
🇨🇦 Kanada
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