Verfahren zur Herstellung von Gegenüber Wasser Reaktivem Al-Film und Bauelemente für Filmabscheidungskammern
EP2281914
Art B1
25. Februar 2015
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2281914
- Aktenzeichen
- EP09738773
- Anmeldetag
- 27. April 2009
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2015
- Erteilung
- 25. Februar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C4/06C22C21/00C23C14/00C23C16/44C23C4/08C23C4/12C23C4/18C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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