Schieberventil und Substratverarbeitungssystem damit

EP2282086 Art A3 23. Juli 2014

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2282086
Aktenzeichen: EP10171850
Anmeldetag: 4. August 2010
Veröffentlichung: 23. Juli 2014
Rechtsraum: EP
IPC: F16K3/18F16K51/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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