Optisches Beleuchtungssystem und Belichtungsgerät
EP2282188
Art B1
11. März 2015
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2282188
- Aktenzeichen
- EP09754556
- Anmeldetag
- 12. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 11. März 2015
- Erteilung
- 11. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01M11/00G03F7/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wiedemann, Peter
München, Deutschland
391
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München