Zerteilen eines Halbleiterwafers
EP2283518
Art B1
10. Juli 2013
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2283518
- Aktenzeichen
- EP09738218
- Anmeldetag
- 30. April 2009
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2013
- Erteilung
- 10. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/78B23K26/06B23K26/36B23K26/40B28D5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Vertreten von
Want, Clifford James
London, Großbritannien
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17
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